pvd原理示意图,子宫图结构示意图

一文看懂pvd真空镀膜产业链
溅镀的原理 靶材(如:alcu,ti等,加热器或静电夹用于放置晶圆和加热
经过多年发展,pvd技术已成为目前主流镀膜方法,主要包括溅射镀膜和
pvd沉积方式的比较
关注半导体设备:pvd设备应用材料一家独大,北方华创部分替代