中国7纳米光刻机,中国5纳米光刻机突破

asml光刻机多少钱一台荷兰asml霸占光刻机市场一台设备要价19亿
据中国新闻媒体报道,上海微电子预计在2021年交付第一台28纳米光刻机
型号:nxe:3400b 类型:极紫外光刻机 制程:7纳米和5纳米 效率:1小时125
在euv光刻机中更是独一份,7纳米及以后的工艺都要依赖euv光刻机
这些细节让中国难望顶级光刻机项背