辉光放电原理,

西安光机所汤洁研究员增强型直流辉光放电等离子体射流研究进展
磁控溅射原理 磁控溅射原理 直流辉光放电 右图为直流辉光放电的
辉光放电光源的增强方式doc23页
辉光放电发射光谱法在材料分析中的应用
辉光放电glow discharge