光刻工艺,光刻工艺流程

微电子工艺基础光刻工艺ppt精品文档
光刻工艺的主要步骤图如下(5)对大尺寸硅片的加工.
原理是利用光化学反应,经光刻工艺将所 需要的微细图形转移到加工衬底
光刻市场和光刻工艺现状
3 光刻工艺窗口及其评价方法