极紫外光刻机,极紫外光

asml:接到73台光刻机订单,包括11台极紫外光刻机!
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第4022回:极紫外微影光刻机,阿斯麦半导体蚀刻
制造芯片的极紫外光刻机为什么这么厉害?它是什么原理
asml将在2021年推第二代euv极紫外光刻机