上海微电子光刻机,上海微电子28nm光刻机

目前全球光刻机的主要厂商有:asml,尼康,佳能,欧泰克,上海微电子装备
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上海微电子推出数年潜心研制的新一代光刻机
上海微电子装备光刻机
上海微电子宣布,将交付首台28nm工艺沉浸式光刻机