压电传感器结构,压电传感器电路图

结构:常用的半导体压力传感器选用n 型硅片作为基片.
一种mems电容式压力传感器的新型敏感结构的制作方法
第8章 压电式传感器.ppt 42页
应变式压力传感器
由于d>>d,故d 振膜式压力传感器结构如图14(a)所示.