离子束溅射,离子束

f3 4薄膜的制备方法离子束 溅射.pptx
图 5 在离子束溅射(ibs 过程中,强电场使离子束上的离子加速到目标
在离子束溅射(ibs)时,高能电场可以加速离子束.
伯东kri 双离子源辅助离子束溅射技术获取高反射吸收ta2o5薄膜
图11.离子束溅射从靶上释放出高能粒子,从而获得了最高密度的涂层.